Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Бином. Лаборатория знаний, 2007
Страниц: 400
Формат: 60x90/16
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Первую он-лайн (в режиме реального времени) трансляцию организовал доцент кафедры [Технология машиностроенияk Игорь Мирошин для учащихся подшефной школы 4Р16 г. Березовский.
КузГТУ выиграл грант в сфере гуманитарных наук
Впервые в своей истории коллектив КузГТУ выиграл крупный грант на поддержку научных исследований в сфере гуманитарных наук.PКоллектив ученых, координируемый доцентом кафедры экономики Кузбасского государственного технического университета Евгением Евгеньевичем Жерновым, выиграл 3,5 млн руб. на развитие проекта [Формирование экономики знаний в ресурсодобывающем регионеk.