Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцссами, систем диспетчерского управления и сбора данных. Соответствует Федеральному государственному образовательному стандарту высшего образования четвертого поколения. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, может быть полезно аспирантам, научным работникам и инженерам.