Книга "Werkst?ckbegleitender Informationsspeicher als Basis f?r ein informationstechnisches Konzept f?r Halbleiterfertigungen".Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Gr?nden eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erh?hung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erh?hen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches Konzept abgeleitet. Dabei zeigt sich, da? Bediener, Leittechnik, Fertigungsger?t und F?rdergut ber?cksichtigt werden m?ssen. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten sowie einer Definition von Funktionsebenen und Organisationseinheiten wird ein Spektrum von L?sungen f?r die integrierte, automatisierte Betriebsdatenerfassung, Proze?datenvorgabe und F?rdergutidentifikation erarbeitet und bewertet. F?r die ausgew?hlte L?sung wird eine Konzeption mit einem Prototyp entwickelt. Anhand von Erfahrungen aus einer Pilotimplementierung werden die Einsatzm?glichkeiten und -grenzen des Informationssystems aufgezeigt.