Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) "Микросистемная техника" и "Микроэлектроника и твердотел??ная электроника". Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.]]>