В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются потоки ускоренных электронов и гамма-излучения. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и фокусировку данных видов ионизирующих излучений.Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Конструирование и технология радиоэлектронных средств" и "Электронные приборы", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.