 | УЧЕБНИКИ |
|
| |
| |
| |
Учебники для вузов: НовинкиДля связи: info@vuz-uchebniki.ru
| |
| |
высшее образование / учебники для вузов / литература для студентов и педагогов / литература для аспирантов |
В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Бином. Лаборатория знаний, 2018 Страниц: 288 Формат: 60x90/16 В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудо??ания. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. Категории каталога: Автоматика. Радиоэлектроника. Связь |
|
Студенту на заметку:
Почему стоит учиться в США?
Обучение в Италии. Признание диплома.
|
