Der Einsatz von Handhabungssystemen in Fertigungen, die in Reinr?umen stattfinden, gewinnt aus Gr?nden der Kontaminationsminimierung zunehmend an Bedeutung. Die eingesetzten Systeme basieren in der Regel auf funktionalen Gesichtspunkten. In der vorliegenden Ver?ffentlichung wird eine Me?methode zur Lokalisierung von Partikelquellen an Handhabungssystemen aufgezeigt. Mit Hilfe dieser Me?methodik werden die wesentlichen Baugruppen von Handhabungssystemen bez?glich ihrer Partikelemission untersucht sowie Modifikationen zum Zwecke der Minimierung der Partikelemission entwickelt. Die wesentlichen Erkenntnisse der zugrundeliegenden Untersuchungen werden in 10 Richtlinien zusammengefa?t. Mit deren Anwendung ist es m?glich, reinraumtaugliche Handhabungssysteme zu entwickeln. Zur Lokalisierung von Schwachstellen steht die spezielle Me?methodik zur Verf?gung. Mit Hilfe dieser beiden Instrumentarien ist es m?glich, ein optimales System mit minimaler Partikelemission aufzubauen.